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非晶硅太陽能電池沉積設(shè)備主要用于在玻璃基片上沉積非晶硅薄膜工藝，是太陽能電池生產(chǎn)線上的關(guān)鍵設(shè)備，該設(shè)備有爐體機(jī)柜、電器控制柜、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)和R F電源等組成。采用工作站實行了全自動控制：并且有高精度的壓力控制系統(tǒng)。通過該設(shè)備在基片上生長外延膜，在片內(nèi)、片間和批間的均勻性和一致性都達(dá)到了國際同類產(chǎn)品水平。
